广泛的流量控制范围：SEC-E40 的量程有多种可选，涵盖了从 10sccm 到 500sccm 以及 1slm 到 10slm 等不同范围，能满足众多行业对气体流量控制的不同需求。

高精度测量与控制：流量精度可达 ±1% F.S.，直线性为 ±0.5% F.S.，重复性为 ±0.2% F.S.，可以实现对气体流量的精确测量和稳定控制。

快速响应：响应速度在 1 秒以内（T98），能够快速对流量设定值的变化做出响应，及时调整气体流量。

宽工作压力范围：工作差压值在 10sccm 至 5slm 时为 50 至 300kPa（d），10 至 30slm 时为 100 至 300kPa（d），可以在不同的压力条件下稳定工作。

多种信号接口：具备 0.1 至 5VDC 的流量设定信号（输入阻抗 1MΩ 以上）以及 0 至 5VDC 的流量输出信号（最小负荷电阻 2kΩ），方便与其他设备进行连接和控制器。

半导体制造：在半导体芯片制造过程中，用于精确控制各种工艺气体的流量，如硅烷、氨气、氧气等，确保芯片制造工艺的稳定性和一致性。

电子工业：在电子元件的生产过程中，如液晶显示器（LCD）、发光二极管（LED）等的制造，用于控制气体流量，实现高质量的薄膜沉积、蚀刻等工艺。

化工行业：在化工反应过程中，用于精确控制反应物气体的流量，以保证反应的顺利进行和产品质量的稳定。

科研领域：在各类科研实验中，如材料研究、化学实验等，为实验提供精确的气体流量控制，有助于科研人员获得准确的实验结果。

测量范围：10/20/30/50/100/200/300/500sccm（立方厘米 / 分钟）以及 1/2/3/5/10slm（升 / 分钟）等多种可选。

流量控制范围：2%〜100% F.S.（F.S. 指满量程）。

流量测量范围：0〜100%F.S.。

工作差压值：10sccm〜5slm 时为 50〜300kPa（d），10〜30slm 时为 100〜300kPa（d）。

使用压力：300kPa（g）以下。

耐压：1MPa（g）以下。

外部泄漏率：1×10-8Pa・m3/s（he）以下。

使用环境温度：5〜50℃（精度的确保温度为 15〜35℃）。

驱动电源：+15VDC±5% 50mA，-15VDC±5% 150mA 3VA。

LE 400AMPS E03ATSC30400HGX0

JXD63B300

CB900MH/L

NICE-L-G-4002

RHS0240 URG01A014000

6SY7010-0AB40

6DD1682-0BE0

6ES7972-0BB52-0XA0

6SN1114-0NB00-0AA0

6GT2602-0AB00

6ES7953-8LJ30-0AA0

FLSWITCHSFN8TX 2891929

PNOZ X3 24VAC 24VDC 3n/0 1n/c 1s0 774310

NDD5-B(ZF-06)AC220V

CP-T96 1000/5A

ARS60-F4K04096