HORIBASTEC SEC-7440M  质量流量控制器

1. 核心功能与应用领域

• 功能定位：通过热式质量流量传感技术，实现对气体流量的精确测量与闭环控制，确保动态条件下的稳定性。

• 典型应用：

• 半导体制造：如 CVD（化学气相沉积）、蚀刻工艺中的气体流量控制。

• 化学工程：化学反应过程中气体输送的精准调节。

• 实验室研究：气体混合、催化反应等实验的流量监控。

• 兼容气体：支持氮气（N₂）、氧气（O₂）、氢气（H₂）、氩气（Ar）、甲烷（CH₄）等常见气体，部分型号可定制特殊气体（如 NH₃、CHF₃）。

2. 技术参数与性能特点

• 流量范围：覆盖 100 SCCM 至 1000 SCCM（标准立方厘米 / 分钟），不同型号适配不同量程需求。

• 控制精度：典型精度为 ±1% F.S.（满量程），确保高重复性和稳定性。

• 响应速度：1 秒以内（T98），可快速适应流量变化。

• 压力特性：

• 工作差压：100-300 kPa（部分型号可达 350 kPa）。

• 耐压能力：最高 1 MPa（G），适应高压环境。

• 接口与通信：支持模拟信号（0-5 VDC）输入 / 输出，部分型号可选数字接口（如 RS-485）。

• 材质与密封性：

• 气体接触部分采用 SUS316 不锈钢，耐腐蚀性强。

• 外部泄漏率 ≤1×10⁻⁷ Pa・m³/s（He），确保高密封性。

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4. 替代型号与对比

• SEC-Z500X 系列：

• 优势：支持多气体、多量程切换，全金属密封，精度更高（±0.5% F.S.），适合复杂工艺。

• 适用场景：半导体、高精度实验。

• SEC-400 系列：

• 优势：经济实用，流量范围更广（0.1 sccm 至 200 slm），适合预算有限的通用需求。

• SEC-8000F/D 系列：

• 优势：耐高温（15-120℃），适用于高温环境下的流量控制。

5. 注意事项与使用建议

• 安装与维护：

• 需水平安装，避免振动和强电磁干扰。

• 定期校准以确保精度，建议每年一次。

• 兼容性验证：使用特殊气体（如腐蚀性气体）前，需与厂商确认材质兼容性。

• 选型建议：根据实际流量范围、气体类型、压力要求及预算综合选择，必要时咨询技术支持。

6. 行业认可与用户反馈

• 行业地位：HORIBASTEC 在 MFC 领域市场份额领先，技术成熟度高，尤其在半导体行业应用广泛。

• 用户评价：

• 正面反馈：精度高、稳定性强，长期运行可靠。

• 改进点：部分用户提到模拟型号的通信功能较弱，建议优先选择数字接口型号。

• 60.001.383

• 60.001.383

• 60.001.382

• SDC45

• AAI841-S00

• 164P1200DB2NSA

• UE10-4XT2D2 6024919

• E5EC-CQ2ASM-012

• S8VK-G06024

• K7L-AT50

• D4NL-2CFG-B

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