Tamagawa DM-100AC高精度数字真空计

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Shenyang Shangmin Electric Co., Ltd

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Tamagawa DM-100AC高精度数字真空计

发布时间: 2025-10-30 16:13

Tamagawa DM-100AC 是日本玉川真空（TamaRive）推出的一款高精度数字真空计，专为工业真空系统设计，支持多通道压力测量、自动化控制和远程数据传输

商品信息

一、核心功能与技术参数

1. 真空压力测量能力

测量范围：覆盖 10⁻² ~ 10⁵ Pa（约 7.5×10⁻⁵ ~ 750 Torr），兼容低真空（皮拉尼规管）和中真空（薄膜规管）场景。
输入类型：支持 4 路真空规管（如 PG-500 皮拉尼规、CCG-500 冷阴极规、CPG-500 复合规），可独立显示或复合显示压力值。
精度：优于 ±5%FS（满量程误差），内置温度补偿技术，在 0~50℃环境温度波动下仍能保持稳定测量。

2. 控制与输出配置

报警与联动：

标配 3 路继电器输出（DC30V/50mA）和 3 路光耦输出（DC55V/100mA），可设置压力上限、下限、偏差报警，联动真空泵启停或安全阀动作。
支持 3 种报警模式（ON/OFF 延迟、窗口比较、边缘触发），响应时间可自定义。

模拟量输出：提供 0~10V 线性电压输出，可直接连接 PLC 或记录仪，用于趋势分析和闭环控制。

3. 通信与接口

数字通信：

RS-485 接口（2 线半双工），支持 Modbus RTU 协议，波特率可选 9600/19200/38400bps，最多连接 32 台从机。
支持 ASCII 编码，兼容 SCADA 系统和第三方软件（如 LabVIEW），实现远程参数配置和数据监控。

物理接口：

规管连接：采用 KF16 真空接口（直径 15.5mm），适配标准真空管路。
电源输入：85~264V AC（50/60Hz），功耗≤8W，支持宽电压工业环境。

4. 显示与操作

界面设计：

VFD 真空荧光显示器，支持 3 种压力单位切换（Pa、Torr、mbar），可同时显示当前值、设定值和报警状态。
按键布局简洁，支持参数锁功能，防止误操作。

外形尺寸：46mm×94mm×122mm（宽 × 高 × 深），支持面板嵌入式安装或导轨安装，节省控制柜空间。

二、典型应用场景

1. 半导体与电子制造

真空镀膜：在磁控溅射设备中实时监测真空度，通过模拟量输出调节溅射功率，确保薄膜均匀性。
封装工艺：在晶圆封装过程中，通过多通道输入同时监控多个腔体压力，触发报警以避免漏气导致的产品缺陷。

2. 食品与制药行业

冻干技术：在药品冻干机中，精确控制升华阶段的真空度（10⁻¹~10² Pa），结合继电器输出联动冷阱和真空泵，优化冻干周期。
真空包装：监测包装机腔室压力，确保密封完整性，防止食品氧化或药品受潮。

3. 能源与化工领域

真空蒸馏：在石油化工反应釜中，通过 RS-485 通信将压力数据上传至 DCS 系统，实现多釜联动控制。
泄漏检测：在管道或容器检漏中，利用多通道输入同时监测多个测点，快速定位漏点并触发声光报警。

三、安装与调试要点

1. 硬件安装

规管连接：

使用金属波纹管连接规管与 DM-100AC，避免振动干扰。
皮拉尼规需单独供电（通常 DC24V），接线时注意极性。

抗干扰措施：

通信线采用屏蔽双绞线，与动力线隔离敷设，总线两端加装 120Ω 终端电阻。
建议将 DM-100AC 安装在远离变频器、电机等强电磁源的位置。

2. 参数设置

基础配置：

通过面板按键设置规管类型（如 PG-500）、压力单位、报警阈值等参数，支持恢复出厂设置功能。
启用自动校准功能时，需确保系统处于稳定真空状态，校准周期建议每 6 个月一次。

通信配置：

使用 Modbus 调试工具（如 Modbus Slave）验证通信参数，读取寄存器地址（如 0x0000 为通道 1 压力值）。
若需与 PLC 通信，需在 PLC 程序中配置 Modbus 主站协议，确保从机地址和波特率匹配。

四、维护与故障处理

1. 预防性维护

定期清洁：

每季度用无水乙醇擦拭规管接口和显示器表面，避免灰尘影响测量精度。
检查继电器触点电阻（应 < 1Ω），若接触不良需及时更换模块。

校准验证：

使用高精度真空校准仪（如 MKS 626B）验证测量精度，偏差超过 ±5% 时需返厂校准。
建议每年进行一次全面性能测试，包括线性度和响应时间。

2. 常见故障排查

故障现象	可能原因	解决方案
显示 “OL”	规管断线或量程超限	检查接线，重新设置输入范围
继电器不动作	触点烧毁 / 输出模式错误	更换继电器模块，检查输出类型设置
通信中断	波特率不匹配 / 总线终端电阻缺失	检查参数，在总线两端加装 120Ω 电阻
压力波动异常	规管污染 / 真空泵油位不足	清洁或更换规管，补充真空泵油

五、选型建议与替代方案

1. 同系列型号对比

型号	通道数	压力范围	通信协议	适用场景
DM-100AC	4 路	10⁻²~10⁵ Pa	Modbus RTU	通用工业真空控制
DM-300AC	2 路	10⁻⁵~10³ Pa	Modbus RTU+Ethernet	高真空科研设备
PPG-80	1 路	10⁻²~10⁵ Pa	内置显示	独立真空监测（无通信）

2. 替代品牌与型号

KNF Neuberger：PVM 301，支持 2 路规管，带 OLED 显示和 USB 接口，价格低约 10%。
MKS Instruments：925B，精度 ±1% FS，支持 EtherNet/IP，适合高精度半导体产线，但价格高约 30%。
台仪（TAIE）：TPC-6800，支持 4 路输入和 PID 控制，性价比高，适合预算有限的中小型企业。

3. 采购建议

渠道选择：通过玉川真空官网或授权经销商（如上海玉川真空技术有限公司）采购，确保正品和技术支持。
成本对比：

全新 DM-100AC 价格约 2,500~3,500 元，含 1 年质保。
翻新件价格约 1,500~2,000 元，但需验证设备使用年限和规管校准状态。

备件储备：建议备用 1~2 个继电器模块和规管接口密封圈，减少停机时间。

六、总结

Tamagawa DM-100AC 凭借多通道测量、高精度控制和灵活通信能力，成为工业真空系统的理想选择。其支持多种规管类型和自动化联动功能，尤其适用于半导体、食品制药等对真空度要求严苛的场景。用户在选型时需根据具体压力范围和通信需求综合考量，并优先选择授权渠道以保障售后服务。对于预算有限的场景，可参考台仪或 KNF 的替代型号，但需注意参数匹配和认证合规性。