SANKYO 三协精机 SENSORIUM-10 自动对焦单元

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Shenyang Shangmin Electric Co., Ltd

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SANKYO 三协精机 SENSORIUM-10 自动对焦单元

发布时间: 2025-10-31 15:29

SANKYO SENSORIUM-10 是三协精机（Sankyo Seiki Manufacturing Co., Ltd.）为半导体制造设备开发的自动对焦单元，主要应用于电子束检测系统（如 JEOL JWS-7555S 扫描电子显微镜），用于晶圆缺陷检测和微观结构分析。

商品信息

SANKYO 三协精机 SENSORIUM-10 自动对焦单元

技术定位与功能

核心功能：通过高精度传感器和电机驱动系统，实现电子束在晶圆表面的快速、精准对焦，确保扫描电镜获取高分辨率图像。这一技术对半导体制造中的缺陷识别、工艺验证至关重要。
应用场景：半导体晶圆生产线上的缺陷审查（Defect Review SEM）、纳米级结构测量、光刻工艺验证等，尤其适用于先进制程（如 3nm/5nm）的质量控制。

产品特性

兼容性：专为 JEOL JWS-7555S 等型号的扫描电子显微镜设计，可直接替换原厂部件，支持即插即用。
可靠性：采用工业级组件，具备抗干扰能力，可在洁净室环境中长期稳定运行。二手设备仍提供 90 天质保，说明其耐用性。
技术参数：具体参数（如对焦速度、精度）未在公开信息中详细披露，但作为半导体设备核心部件，其性能指标通常达到纳米级精度。

市场与供应链

流通渠道：该部件主要通过半导体设备二手市场（如 SemiconductorSpares、Layla-EC）流通，新设备通常由 JEOL 等原厂集成供应。
价格范围：二手单元售价约 250-358 美元，具体取决于使用状态和配件完整性（如是否包含 AC 电缆、限位电机等）。

技术背景

半导体制造对微观精度的要求极高，电子束检测设备的对焦系统直接影响缺陷检出率（Defect Detection Rate）。SANKYO SENSORIUM-10 作为关键组件，其技术迭代与晶圆制程演进（如极紫外光刻 EUV）密切相关。例如，在检测 FinFET/GAA 等新型晶体管结构时，需依赖更高精度的对焦技术以确保成像质量。